CLEVER

逼真3D结构的RC提取器

CLEVER是一个3D基于物理的RC提取器，它使用GDSII掩模数据和工艺信息，结合其内置3D蚀刻/淀积处理器和光磁仿真器，来创建逼真的3D结构。CLEVER则后标注提取的RC到SPICE网表

主要特征

深度亚微CMOS,MEMS,TFT和内存技术必不可少的工具

拥有逼真3D处理得的3D场解算器，提供最高的互连RC提取精度和工艺修改的快速反馈

业界唯一RC提取器能够再生光学邻近修正(OPC) 次波长效应的光刻效应，相移掩模(PSM), 角度误差，散焦和ΔCD

直接连接半导体工艺信息与IC版图计生参数提取，避免损失从曲线拟合寄生参数到实验式公式的精确度

用户可选边界条件，材料名称和特性

2007年12月1日现在