EXACT

EXACT为纳米半导体工艺提供最精确的互连模型，并生成全芯片版图参数提取(LPE)规则文件。EXACT的强大三维场求解器和脚本语言支持任何全芯片寄生参数提取器。

• 强大的三维场求解器支持非平面半导体剖面图，用于精确模拟不规则的蚀刻图、双嵌入式工艺和低k值电介质
  
• 三维场求解器可计算互连电容模型，生成高精确度的LPE规则文件，而不影响其提取性能
  
• 直观友好的图形界面便于新手及经验丰富的工艺技术开发师进行工艺层描述和测试结构定义
  
• 标准操作模式用于处理传统工艺，而高级操作模式则可用于定义更为复杂的非平面工艺
  
• 强大的脚本语言可处理任何格式的数据