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EXACT

全芯片LPE规则文件生成器
 

EXACT为纳米半导体工艺提供最精确的互连模型,并生成全芯片版图参数提取(LPE)规则文件。EXACT的强大3D场解算器和脚本语言支持任何全芯片寄生提取器

主要特征

  • 强大的3D场解算器支持非平面半导体截面图,用于精确模拟不规则的蚀刻图、双嵌入式工艺和低k值电介质
  • 3D场解算器计算互连电容模型,在不折衷提取性能的情况下生成高精度的LPE规则文件
  • 直观和友好的图形界面供新手及经验丰富的工艺开发师应用,用于工艺层描述和测试结构定义
  • 标准的操作模式可以处理传统的工艺,而高级模式可以用于更复杂和非平面的工艺定义
  • 强大的脚本语言允许数据为任何格式


TOKEN
2007年12月1日 现在
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产品说明书 HTML版pdf
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