ATHENA 1D

ATHENA 1D是业界标准工艺仿真器ATHENA 2D的一维实现形式。ATHENA 1D是个综合的通用一维工艺仿真器，用于预测半导体工艺中产生的掺杂分布与厚度。它使用与SILVACO 2D工艺仿真器ATHENA相同的物理模型， ATHENA 2D被广泛用于半导体行业中各种制造技术的设计与优化。ATHENA 1D精确度高，仿真速度极快，能够在短短几分钟内仿真完一个完整的工艺流程。 ATHENA 1D简单易用，因为它同时配套了DeckBuild运行环境和TonyPlot图形检视工具，因此ATHENA 1D具备了DeckBuild 的所有功能，诸如输入文件编辑、内置优化器以及试实验设计（DOE）等。