ATHENA系统在Silvaco TCAD交互工具提供的一个用户友好性的环境中集成了几个工艺仿真模块。ATHENA 从世界著名的斯坦福大学仿真器SUPREM-IV中发展而来， 与众多的学术和工业界伙伴合作下开发了很多新颖的性能。ATHENA 提供一个方便的平台，用于半导体工业的仿真处理:离子注入、扩散、氧化、物理蚀刻和淀积、光刻、应力成型和硅化。 Rev. 112807_20