VICTORY Process

VICTORY Process是一个通用的三维工艺仿真器。它包含一个完整的工艺流程核心仿真器和三个高级仿真模块：蒙特卡罗注入、高级扩散与氧化，以及物理刻蚀与淀积。专利模型以及公共领域研究模型可通过开放式建模接口，很容易地整合于Victory Process中。 主要特征 尖端的多粒子流量模型可通过重淀积衬底材料来仿真物理淀积与刻蚀 极其精确且快速的蒙特卡罗注入仿真 具有一套完整的三维扩散模型：费米（Fermi）模型、三路层流（three-stream）模型和五路层流（ five-stream）模型 用应力分析进行三维氧化仿真 快速的三维结构原型制作功能可对某些特别工艺问题进行深入物理分析 精确预测三维拓扑和三维掺杂分布 自动生成网格，并进行自适应网格细化(AMR：Adaptive Mesh Refinement) 高效的多线程可在关键时间操作蒙特卡罗注入、扩散、氧化，以及物理刻蚀与淀积 开放式结构可轻松引入并修改客户定制的物理模型 与三维器件仿真器无缝链接，包括结构镜像、自适应掺杂细化以及电极规格设置等 Silvaco强大的加密功能可以用来保护客户和第三方的知识产权