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VICTORY Stress

三维应力仿真器

VICTORY Stress 是一个通用三维应力仿真器,它利用综合材料应力模型,包括弹性系数的晶向相关性来计算三维结构的应力和迁移率增强系数。

主要特征

  • 用于单晶硅的通用三维各向异性应力仿真
  • 可对所有器件结构进行应力分析,并充分考虑了材料的各向同性/各向异性的特点、边界和初始条件。
  • 可用于材料间的热失配仿真
  • 可估算迁移率增强系数
  • 可清晰阐释淀积材料层的本征应力
  • 可用于覆盖层的静水应力仿真
  • 实验设计(“Design of Experiments” )结合虚拟晶圆制造系统(VWF)可用以分析诸如栅极长度或厚度变化等工艺参数的应力相关性
  • Silvaco强大的加密功能可以用来保护客户和第三方的知识产权

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