VIRTUAL WAFER FAB

VWF是用于实验设计（DOE）和实验优化的软件工具。其分批（Split-lots）管理器 可用于各种预定义分析方法。分割参数可以在Silvcao的任何工艺、器件、参数提取以及电路仿真器中使用。所有仿真均可在一组工作站或者单个SMP 机器上并行运行。 VWF带有图形用户界面(GUI)，GUI还可对实验结果进行检验。 主要特征 VWF可以用于从工艺仿真到SPICE电路性能的整个流程中，也可以在部分流程中使用 掩模、工艺参数、器件参数、电路参数或调整系数之间的任意组合均可定义为输入变量 定义实验有几个方法：通过DOE实验设计(如Box Behnken)来自动修改输入参数，或通过优化算法（如Levenberg-Marquardt算法）、用户自定义的脚本或手工修改输入参数 强大的脚本接口允许完全定制DOE，并可在后台运行实验 可在整个流程中测量工艺特性（如氧化厚度）、器件特性（如阈值电压）或者电路特性（如上升时间）等 每个实验都可以在主机网络中运行，从而缩短仿真时间。 实验过程可生成响应模型，输入参数可通过橡皮带（Rubber band）技术来查看其对输出响应的影响 一份完整的输入响应和实测输出响应工作表可导出至SPAYN以进行进一步的统计分析，或导出至TonyPlot以便于查看 高级的安全特性允许细粒度的访问控制