True 3D field solver with advanced lithography and realistic etch deposition models

全真三维结构的RC提取器

Clever是一个物理RC提取器, 它使用GDSII掩模数据处理信息,并结合其内置刻蚀/淀积仿真器和光刻仿真器来创建MEMS、高级CMOS、TFT、内存单元等全真三维结构。Clever将所提取的RC反标注到SPICE网表。在Clever系统中可使用液晶显示器(LCD)仿真器来模拟液晶指向矢和电场及其对寄生电容的影响。

引言

为了满足当今纳米工艺技术和提高时钟速率的要求,必须完整准确地表征从根本上控制高速系统的整体运行性能的互连结构,以确保芯片上的信号完整性。对于较大的电路设计和预缩工艺技术,线电阻、电容、电感或寄生会显著影响电路性能。互连寄生效应主要包括:信号延迟、信号噪音、IR降(电压的电阻成分)。这些因素会导致信号完整性的一整套问题和挑战,包括:

  • 长运行时间(权衡不同级别的精度)
  • 快速计算方法和理想的准确性

 

Clever是一个以求解器为基础的一维、二维和三维 RC提取工具,它使代工厂和无晶圆厂设计公司能够针对不同工艺需要获得精确的互连模型来解决这些寄生参数提取问题。

特征

  • 包含高级光刻的现实三维场求解器
  • 高精度RC提取
  • 不受几何尺寸的限制
  • 为电路性能优化快速反馈后端工艺及版图参数的变化
  • 局部自适应网格细化(AMR)(Adaptive Mesh Refinement)最大限度地提高优化网格的精度
  • 支持多核和多处理器的并行处理
  • 用户可选择边界条件、材料特性和解决方案公差控制
  • 自动反标注求解器输出电阻和电容到已提取的有源器件网表中,以即时进行SPICE分析
  • 业界唯一能够重现多种光刻效应、散焦和deltaCD的RC提取器
  • 用于LCD仿真的全耦合电场和指向矢场仿真
  • 依赖电压的液晶单元寄生提取
  • Silvaco的安全加密最大程度地保护客户和第三方的知识产权

功能

Clever提供最复杂互连单元的最佳精度、效率和多功能性,包括现实的蚀刻和淀积工艺。其局部AMR功能允许用户指定所需的精度。Clever将自动细化所需的非结构化网格以获得最高精确度。

应用

平板显示器如TFT、Touch panel以及LCD

 

电场分布 触摸面板装置的三维结构

 

圆形和锥形孔 去除氧化绝缘之后的六个存储单元或部分完成的SRAM阵列。 SEM照片(IBM)

 

SRAM和快闪存储器单元

SRAM单元的三维结构